打破日企壟(lǒng)斷隻是時間問(wèn)題？東進半導(dǎo)體宣布與(yǔ)三(sān)星成(chéng)功研發(fā)euv光刻膠

　　據韓媒etnews報(bào)道，韓國東進半導體(tǐ)與三星電(diàn)子合(hé)作，成(chéng)功開發了(le)超細半導(dǎo)體加(jiā)工必不可少的(de)材料——極(jí)紫(zǐ)外(euv)光(guāng)刻膠(pr)。euv光刻膠是(shì)因其技(jì)術(shù)難度高而完全依賴(lài)國外的産(chǎn)品，此(cǐ)次韓(hán)國通過國(guó)内企(qǐ)業合作實現了(le)國産化，意(yì)味着日(rì)企(qǐ)壟斷的打(dǎ)破。

 

東進半(bàn)導體華城工廠(chǎng)鳥瞰圖，來源(yuán)：etnews

 

　　12月(yuè)19日，東進半(bàn)導體宣布于近期通(tōng)過了三星電子的euv光(guāng)刻膠可靠(kào)性測試，發(fā)布此消息後，截(jié)至12月(yuè)21日上(shàng)午11時(shí)45分，東進半導體股價(jià)較前一交易日(rì)上漲12.8%。

 

　　一位(wèi)熟悉(xī)此事的業(yè)内人(rén)士表示，“東進半導體在其位于(yú)京(jīng)畿道華城的(de)工廠(chǎng)開(kāi)發了 euv光(guāng)刻膠，并在三星電子的華(huá)城euv生(shēng)産線(xiàn)上(shàng)對其進(jìn)行了測試，并獲得了最終的可(kě)靠性(xìng)認證(zhèng)。”

 

三星(xīng)電子， 來源(yuán)：etnews

　　光刻(kè)膠是半導體曝(pù)光(guāng)工(gōng)藝中(zhōng)的關(guān)鍵材料。它(tā)被施(shī)加在晶片上，當(dāng)用半導(dǎo)體曝光(guāng)設備照射(shè)光時(shí)，會發生化(huà)學反(fǎn)應并改(gǎi)變物理(lǐ)特性。通過用顯(xiǎn)影劑(jì)沖洗掉來繪制(zhì)微電(diàn)路，隻(zhī)留下(xià)必要(yào)的部(bù)分。

 

　　在韓(hán)國，用(yòng)于(yú)krf和arf工藝的(de)光刻(kè)膠已大量生産，但沒(méi)有用于可以(yǐ)繪制更(gèng)精細(xì)電路(lù)的euv光刻(kè)膠(jiāo)，大部分需(xū)要依賴日本進口。此(cǐ)外在(zài)2019年，日(rì)本與(yǔ)韓國(guó)爆(bào)發争議(yì)之後曾(céng)經限制(zhì)三種(zhǒng)重要的半(bàn)導體(tǐ)材料對韓國的(de)出口，euv光刻(kè)膠就是(shì)其(qí)中之(zhī)一，爲此韓國(guó)公(gōng)司也加快了euv光刻膠的研發，東(dōng)進半導體也是(shì)其中之一。

 

　　東進(jìn)半導體利(lì)用自有的基(jī)礎(chǔ)設施(shī)，如現(xiàn)有(yǒu)的arf曝光機和(hé)比利(lì)時半(bàn)導體(tǐ)研(yán)究(jiū)所i mec euv設(shè)備，開始(shǐ)進行(háng)euv光(guāng)刻膠國産(chǎn)化研(yán)發。

 

　　今(jīn)年早些時(shí)候，其(qí)加(jiā)強了euv光(guāng)刻膠專(zhuān)家并加(jiā)速了技術(shù)開發(fā)。此外(wài)，三星(xīng)電子(zǐ)積極支持(chí)euv測試(shì)環境(jìng)，以(yǐ)達(dá)到可(kě)以在現場使用(yòng)的質量水(shuǐ)平(píng)。

 

　　目(mù)前尚不清(qīng)楚三(sān)星電(diàn)子(zǐ)是否會(huì)立即(jí)将東(dōng)進半導體euv光刻膠投(tóu)入半導(dǎo)體生産(chǎn)線。正常情(qíng)況下(xià)，如果(guǒ)質量合格(gé)就會(huì)投入量産線。因此，有(yǒu)人預(yù)測最早可能(néng)在(zài)明年上(shàng)半年供(gòng)應。三星電子和東進(jìn)半導體目(mù)前(qián)都拒(jù)絕就本(běn)條新聞表态。三(sān)星電(diàn)子的(de)一位(wèi)官員表示(shì)：“我們(men)無法與合作公(gōng)司确認測試是否通(tōng)過(guò)。”

 

　　就該消息而言(yán)，三(sān)星與東進半導體研(yán)發的euv光刻膠産品隻是(shì)成功通(tōng)過了測試，距離量産時(shí)間還不(bú)确定，但這(zhè)一消(xiāo)息也(yě)表明三星(xīng)已經(jīng)在(zài)euv光刻膠(jiāo)方面取得(dé)成功(gōng)，量産将隻是時(shí)間問(wèn)題(tí)。