晶(jīng)瑞電材：已啓動(dòng)arf（193）高端光刻膠研(yán)發，krf光刻膠(jiāo)完成(chéng)中試

　　12月(yuè)15日，晶瑞(ruì)電材(cái)在(zài)特定對象調研(yán)活(huó)動中(zhōng)表示(shì)，目前arf(193)高端(duān)光刻膠(jiāo)研發工(gōng)作已正式啓動，已完成光刻機(jī)、勻膠顯影(yǐng)機、掃(sǎo)描電鏡、台階儀等設備購置，其(qí)中asml1900gi型光(guāng)刻(kè)機設(shè)備正在積極調試中(zhōng)。同時(shí)公司正在(zài)積極開展對上(shàng)遊材(cái)料樹(shù)脂單體(tǐ)及(jí)配方(fāng)的研(yán)究。

 

　　公司高(gāo)端krf(248)光(guāng)刻膠已完成中(zhōng)試(shì)，建成了(le)中試示範(fàn)線，已(yǐ)進入客戶測試(shì)階段(duàn)。近期(qī)已購(gòu)得krf光刻機一台(tái)，可用(yòng)于(yú)krf光刻膠的曝(pù)光測試，同(tóng)時公司krf光刻膠(jiāo)量産(chǎn)化生(shēng)産線(xiàn)正在(zài)積極建設(shè)中。

 

　　據(jù)晶瑞電材表示，此前，公司已經(jīng)購(gòu)得用于(yú)負膠、g 線、i線(xiàn)、arf 等 4 台(tái)光刻機(jī)，再加之(zhī)此次(cì)購得的krf光刻機(jī)，公(gōng)司已經(jīng)到位5台光刻機。

 

來源：晶瑞電材官網

 

　　此外(wài)據晶(jīng)瑞電(diàn)材透露，晶瑞(湖北)微電子(zǐ)材料項目一期(qī)目前(qián)正在(zài)設備安裝(zhuāng)調試階段。

 

　　據悉，2019年11月，晶瑞電材(cái)(原(yuán)晶瑞股(gǔ)份)發布公告稱(chēng)，拟在湖北省潛(qián)江市投(tóu)資建設晶瑞(ruì)(湖北)微電(diàn)子材(cái)料項目，生(shēng)産光(guāng)刻膠及(jí)其(qí)相關配套(tào)的功能性(xìng)材料、電子(zǐ)級雙氧水、電子級氨水等半導(dǎo)體及面闆顯示用電子材料等(děng)，項目(mù)計劃(huà)總投(tóu)資約爲(wèi)人(rén)民币(bì)15.2億(yì)元。

 

　　晶瑞電材(cái)在該(gāi)調研活動(dòng)中還表示(shì)，受益于我國(guó)半導體材料行業國産(chǎn)替代進程提速(sù)，下遊(yóu)芯片廠(chǎng)商(shāng)需求增長，當前(qián)公司主導(dǎo)産品(pǐn)半導(dǎo)體(tǐ)級光刻(kè)膠及配套材料(liào)、超淨(jìng)高純試劑、锂電池(chí)材(cái)料等(děng)産銷(xiāo)兩(liǎng)旺(wàng)。

 

　　未來随着(zhe)公(gōng)司 krf 光刻膠測試(shì)完成并(bìng)逐步量産(chǎn)、arf 光刻膠研發(fā)成(chéng)功并(bìng)最終量(liàng)産，以及(jí)公司(sī)南通、陝西(xī)、四川等基地新(xīn)增的高純硫酸(suān)、nmp、光刻膠等産品(pǐn)産能(néng)的逐步釋(shì)放，有(yǒu)望成爲公司新的利(lì)潤增(zēng)長點。